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日本ULVAC愛發科機械增壓泵

簡要描述:
日本ULVAC愛發科機械增壓泵
通過與干式真空泵、油旋轉真空泵或水封真空泵一起使用,機械增壓泵可以將抽速提高到 10kPa 至 0.1 Pa 之間,此時粗抽泵的抽速會下降。“Model:PRC" 專為特別需要清潔度的半導體和液晶顯示器工藝而設計。可以選擇大氣壓啟動類型作為選項。

更新時間:2025-06-20

訪問量:456

廠商性質:經銷商

型號:PRC-003A

品牌ULVAC/日本愛發科應用領域環保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發科機械增壓泵

日本ULVAC愛發科機械增壓泵


特征

油 泵殼內無油,即使在排出水蒸氣或溶劑蒸氣時也能保持穩定的性能。

屏蔽電機

使用屏蔽電機可以避免在大氣和真空之間使用機械密封。它可以在清潔的環境中使用,無需擔心漏油。

優異的耐腐蝕性 表面處理

主要部件的表面硬度和耐腐蝕性的陽極氧化涂層可以防止泵內部的劃痕和腐蝕。可以選擇非表面處理作為選項。

用于較短抽真空的常壓啟動型(選項:變頻器)與標準型相比,該類型可以縮短抽氣時間,因為泵與粗抽泵同時啟動。

應用

  • 蒸發、濺射、離子電鍍、真空干燥機、冷凍干燥機、真空脫氣

  • 分析儀器、泄漏測試系統、氣體交換、填充、真空絕熱

  • 熱處理、熔化爐

  • 其他各種真空系統

規格

型號 *1PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列
最大抽速
50 赫茲280米3/h
(4670 升/分鐘)
500 米3/h
(8330 升/分鐘)
1000 米3/h
(16700 升/分鐘)
1500米3/h
(25000 升/分鐘)
60 赫茲330 米3/h
(5500 升/分鐘)
600米3/h
(10000 升/分鐘)
1200米3/h
(20000 升/分鐘)
1800 米3/h
(30000 升/分鐘)
最大吸入
壓力
50 赫茲1.2 x 103帕1.3 x 103帕1.2 x 103帕
60 赫茲約9.3 x 102帕1.1 x 103帕約9.3 x 102帕

最大允許壓

50 赫茲4.0 x 103帕7.3 x 103帕4.3 x 103帕
60 赫茲3.3 x 103帕6.0 x 103帕3.2 x 103帕
極限壓力 *24.0 x 10-1帕6.7 x 10-1帕
允許的驅動壓力~1.0 x 105Pa(常壓啟動型)
電機 *3電機類型Cand 三相感應電動機
能效
等級
權力0.75 kW(2 極)2.2 kW(2 極)3.7 kW(2 極)5.5 kW(2 極)

電壓
(200V
級)
50 赫茲200 伏
60 赫茲200/220 伏
油 *4
ULVOIL R-42
油量0.7 升1.5 升1.9 升
冷卻方式水冷
冷卻
一次側
壓力
0.3 米帕
入口/出口
壓力差異
l 壓力
體積
0.01 Mpa以上
冷卻水
容量
2 升/分鐘3 升/分鐘
冷卻水
溫度 *5
5 ~ 30 °C
入口 JIS-B-2290相當于 VG80 /
ISO80F 或 ISO100F(可選)

相當于 VG100 /
ISO100F
(可選)

相當于 VG150 /
ISO160F
(可選)
出口 JIS-B-2290相當于 VF80 / ISO80F 或 ISO100F(可選)
相當于 VF100 /
ISO100F
(可選)
尺寸 W×D×H *6296×575×260
毫米
356×619×320
毫米
406×759×340
毫米
406×989×340
毫米
重量51 千克86 千克118 千克150 千克
標準粗抽泵VD601 系列VD901 系列
VS2401 系列
VS2401 系列
適用標準-
標準附件一劑油,一套手冊
選擇無表面處理的泵、適配器法蘭、
常壓啟動型(變頻器)、

注)本規范使用 SI 測量單位。轉換為非 SI 單位如下:
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 Torr

*1 標準型號為表面處理(陽極氧化涂層)。
可選,無表面處理模型可供選擇。
*2 使用標準前級泵和標準真空油的皮拉尼真空計測量。
*3 防爆法蘭電機(增安型和隔爆型外殼型)
無法選擇。
*4 油選項 : 可選,氟油 (J25F) 類型可選擇。
*5 在沒有冷凝的環境中使用。
*6 有關其他尺寸,請訪問 ULVAC 網站并參考發布的 CAD 數據。

抽速曲線

PRC-003A/006A 系列日本ULVAC愛發科機械增壓泵PRC-012A/018A 系列日本ULVAC愛發科機械增壓泵


尺寸圖

日本ULVAC愛發科機械增壓泵

PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列
W296356406406
D575619759989
H260320340340



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